特徴 -Feature-
| ■300mmウエハーまで対応可能、ダイシングテープ用UV照射機です。 | ■UV照射の際に大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 | ■異なるウエハー又はフレームサイズへ迅速に変更可能 | ■TTS独自のUV技術により、UVランプの長寿命化を実現 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 3KVA[with UV] |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Nitrogen(For UV) | 0.2 – 0.4 MPa ( Min Flow Rate:20NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 1.0m3/min,10mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1350×1250×1800 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 500Kg |
